適用於長距離的無塵室

C6 拖鏈系列搭配無塵室導向系統

無塵室創新解決方案行程長達 30 公尺

新版 C6 無塵室拖鏈擁有革命性的導向系統。它精巧耐用，讓製造商即使在無塵室的生產環境中，也能在非常長的行程中導向能量和資料。

立即提出要求

精進技術

創新的無塵室解決方案採用特殊導向，因此即使長距離傳輸也幾乎不會產生微粒。

降低成本

在單一系統中確保長距離傳輸的電力與資料供應時，不會進一步排放微粒

經證實

經 Fraunhofer IPA 認證為 ISO Class 4 的 8 公尺完整系統，含導槽與不含導槽皆可。

永續發展

透過減少微粒提高產量，節省資源

"長行程在無塵室中的解決方案"

無塵室中的自動化晶圓輸送

在現代半導體工廠中，矽晶圓要經過許多製程步驟 - 從光刻、蝕刻到摻雜和金屬化。這些製程在不同的設備中進行，而這些設備通常彼此相距甚遠。由於對潔淨度和無微粒的嚴格要求，在無塵室內進行人工運輸並不可行。一個行之有效的解決方案是高架吊車運輸 (OHT)，這是一個軌道導引的運輸系統，可將 FOUPs 架空移動，並最佳地利用無塵室空間。除運輸外，所謂的存儲器中的存儲也極為重要。這些系統對供能系統有很高的要求：電線電纜為 OHT 裝置供電，並傳輸資料，必須在動態且經常狹窄的無塵室環境中可靠導引 -igus 現在提供了創新的新解決方案。