C6 無塵室拖鏈搭配 e-spin 導向系統

創新的無塵室解決方案，行程最長可達 30 公尺

新版 C6 無塵室拖鏈帶有特殊導向系統，使製造商能夠利用緊湊而耐用的拖鏈優勢進行能源和數據導向，即使在無塵室內生產過程中進行非常長的行程。

我們的全新無塵室解決方案，適用於高達 30 公尺的行程，具有決定性的優勢：

耐磨性，獲得 Fraunhofer IPA ISO 認證
適合長行程應用
模組化且低維護，非常適合高度自動化無塵室環境

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精進技術

具有特殊導軌的創新無塵室解決方案，即使在長行程距離也幾乎不會產生發塵

降低成本

在單一系統中確保長距離傳輸的電力與資料供應時，不會進一步排放粒子

經證實

整套系統共八公尺，經 Fraunhofer IPA 認證，符合 ISO 1-4 級標準

永續發展

減少發塵可提高產量，節省資源

無塵室中的自動化晶圓輸送

在現代半導體工廠中，矽晶圓要經過許多製程步驟 - 從光刻、蝕刻到摻雜和金屬化。這些製程在不同的工廠中進行，而這些工廠通常彼此相距甚遠。由於對清潔和無顆粒的嚴格要求，無塵室內手動運輸是不可行的。因此，自動化物料搬運系統 (AMHS) 負責安全且有效率地長距離運輸晶圓盒。一個經過驗證的解決方案是高架吊車運輸 (OHT) 這是一種軌道導向的運輸系統，可將 FOUP 移動在上面並最佳利用無塵室空間。

除了運輸之外，所謂的存儲也是極為重要的。這些系統對能源和資料供應的要求很高。您需要可靠的供能系統，用於：OHT 單元的電源供電，數據傳輸（例如：乙太網，感測器技術），在動態和通常狹窄的無塵室環境中的安全電線電纜導向。

用於無塵室應用的 C6 拖鏈系統

最高的無塵室適用性，幾乎沒有磨損和高強度

耐磨性是無塵室中拖鏈應用的決定性參數。C6 系列拖鏈在這裡樹立了新標準，幾乎無明顯磨損。這是最好的結果：使用新的 C6 無塵室拖鏈時，即使在高負載下也不會測量到磨損。其他優點是非常安靜的操作和易於安裝。

現在也提供內側高度為 22mm 的產品。針對外半徑橫桿安裝每個鏈節進行最佳化，並標準配備橫桿以及由 iglidur J 製成的內部分隔板，這種材質能為各種電纜護套或軟管材料提供最佳的滑動表面。。此外，側鏈節採用耐磨性最佳化的低磨損 ESD 材料製成，作為標準。全新的組裝工具可讓您更輕鬆快捷地打開鏈條。

典型應用領域：電氣製造、半導體工業、FPD 生產、微電子、面板機器人、包裝、繪圖儀、醫療技術

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