用戶報告無塵室專用電纜，每年循環超過 3100 萬次

• 需要什麼 Ribbon cable e-skin® flat
• **要求：**高精度、短週期時間和連續運作的可靠性
• 產業：半導體生產
• **客戶的成功：**該應用經過一年的驗證，循環時間約為 1 秒，因此每年超過 3100 萬次循環

海德堡儀器的 Volume Pattern Generator" 系統，簡稱 VPG，主要用於工業量產。它們使用 UV 雷射以高精度和高速度產生光罩，作為生產微晶片、感測器、LED 和 MEMS（微機電系統）的模板。VPG 系統的其他可能應用包括在晶圓上直接寫入微結構。

除了極高的精確度之外，全天候運作和每秒極短的週期時間也是系統中驅動器的部分需求條件。Michael Kappel，電子設計主管："這就是為什麼我們要自行開發許多核心元件，包括氣浮 XY 工作台。" 由於曝光製程是在無塵室的條件下進行，因此驅動元件也必須相應選擇。這尤其適用於 XY 工作台的能量、訊號和介質供應線。即使是最小的灰塵微粒也會損害曝光的品質。另一項要求至少同樣重要。Kappel："即使是能量供應過程中最微小的干擾也必須避免，因為這會降低曝光的精確度。"

在此開發專案中，igus® 展示了 e-skin® flat：一種新的電纜載具概念，可省去之前使用的鏈條。取而代之的是，電纜和軟管被導入扁平型材（即所謂的吊櫃）中，可根據需要單獨開啟或關閉。這種緊湊的系統允許非常小的彎曲半徑，並且在移動過程中具有抗磨損性，這也是因為沒有鏈節相互接觸。這意味著它可以在無塵室中使用 - 即使是多層使用 - Fraunhofer IPA 進行的測試也證實了這一點。這項創新來得正是時候：海德堡的設計工程師們利用新的能源供應建立了一個耐久性測試的示範器，目前已在 igus® 測試實驗室完成了 1.2 億次的 ISO 1 循環測試。igus® 對緊固元件進行了最後的調整 -"小型" VPG 和 ULTRA 系統的新型供電系統就此完成。

此解決方案已使用一年之久，並在實踐中證明了其優點，即使在週期時間約為一秒的動態應用中也是如此 - 即每年超過 3100 萬個週期。 海德堡儀器使用高品質的 igus® chainflex® 電纜，外層為耐磨的 TPE 護套。