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無塵室
drylin® 無塵室線性滑軌

drylin® 無塵室適用性、ESD 相容性和 RoHS

經測試的 drylin® 導軌顯然適用於無塵室。在此必須依據速度和負載遵守個別無塵室等級。根據 SEMI E78-0998 (最佳等級)，iglidur® J 與陽極氧化鋁和硬陽極化鋁的組合具有"1 級" 的 ESD 相容性。

所有 drylin® 線性滑軌都是針對乾燥操作而設計，並在此條件下進行測試。沒有使用油或油脂作為額外的潤滑劑。

證書中指定的導引系統符合 RoHS 要求和 Directive 2011/65/EU。

測試了下列來自 igus® 的 drylin® 導軌：N40、W10、T25 和 T30。

線性滑軌系統 drylin® NK-02-40-02
"對於 igus® GmbH 的線性滑軌 drylin® NK-02-40-02，根據 DIN EN ISO 14644-1 標準，在移動速度 v = 1m/s 的情況下，檢測變數 0.2μm、0.3μm、0.5μm 和 5μm 的極限值超出概率的各自計算結果，可得出其明確適用於 ISO 6 級無塵室。"
根據 SEMI E78-0998 的 ESD 相容性量測結果顯示，drylin® 線性滑軌系統 NK-02-40- 02 可歸類為適用於"1 級" 。Fraunhofer IPA 報告編號：IG 0308- 295 73

線性滑軌系統 drylin® TK-01-30-01
"對於 igus® GmbH 的線性滑軌 drylin® TK-01-30-01 來說，根據 DIN EN ISO 14644-1 標準，在移動速度 v = 0.1m/s 的情況下，檢測變數 0.2μm、0.3μm、0.5μm 和 5μm 的極限值超限概率的各自計算，可得出其明確適用於 ISO 3 級無塵室。"

線性滑軌系統 drylin® TK-01-25-02
"對於 igus® GmbH 的 drylin® TK-01-25-02 線性滑軌而言，根據 DIN EN ISO 14644-1 標準，在移動速度 v = 1m/s 的情況下，檢測變數 0.2μm、0.3μm、0.5μm 和 5μm 的極限值超出概率的各自計算結果，可得出其明確適用於 ISO 5 級無塵室。"
根據 SEMI E78- 0998 的 ESD 相容性量測結果顯示，drylin® 線性滑軌系統 TK-01-25-02 可歸類為適用於"1 級" 。

線性滑軌系統 drylin® WK-10-40-15-01
"對於 igus® GmbH 的線性滑軌 drylin® WK-10-40-15-01，根據 DIN EN ISO 14644-1 標準，在移動速度 v = 1m/s 的情況下，檢測變數 0.2μm、0.3μm、0.5μm 和 5μm 的極限值超出概率的各自計算結果，可得出其明確適用於 ISO 6 級無塵室。"
根據 SEMI E78- 0998 的 ESD 相容性量測結果顯示，drylin® 線性滑軌系統 WK-10-40- 15-01 可歸類為適用於"1 級" 。Fraunhofer IPA 報告編號：IG 0308-295 74