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應用案例

無塵拖鏈和電纜每年進行超過3100萬次循環

無顆粒排放的igus供能系統用於半導體生產

Heidelberg Instruments的體積模式發生器系統(簡稱VPG)主要用於工業批量生產。它們可用於將微結構直接寫入晶圓上。為了確保設備持續良好運行,其中所用的供能系統必須始終平穩運行,且要適用於無塵室環境。 igus的e-skin flat無塵式專用拖鏈為該應用提供了很好的解決方案。與傳統拖鏈不同的是,該系統是在腔室中引導管線的。

簡述

  • 所用產品:e-skin flat無塵式專用拖鏈
  • 要求:高精度、循環時間短、連續可靠運行
  • 行業:半導體生產
  • 為客戶帶來的優勢:產品已經成功使用了1年時間,效果很好,運動循環時間約1秒,每年進行超過3100萬次往復運動。
用於半導體製造的e-skin flat Heidelberg Instruments在一些設備的XY工作台的y軸上使用了e-skin flat。夾緊桿主要用來固定電纜。

問題

Heidelberg Instruments的VPG體積模式發生器系統主要用於工業批量生產。它們可用來使用紫外雷射器以高精度和高速度生產光掩膜,這些光掩模可用作微芯片、傳感器、LED和MEMS(微機電系統)生產的模板。 VPG系統的另一個可能應用是將微結構直接寫入晶圓上。

除了極高的精度外,全天候運行和循環時間短也是用於VPG系統的驅動組件需要滿足的要求。 Heidelberg電氣設計主管Michael Kappel表示:“正因如此,我們才自己內部開發了很多核心組件,比如氣墊XY工作台等。”另外,由於曝光過程是在無塵室條件下進行的,因此驅動組件也必須無塵室兼容,尤其是XY工作台的電力、信號和介質傳輸系統。因為任何細微的顆粒都可能極大地影響曝光的品質。此外還有一點非常重要。 Kappel說道:“供能系統必須抗振,因為運行中的絲毫振盪都會使曝光的精度大打折扣。”

解決方案

igus為該專案提供的解決方案是e-skin flat無塵式專用拖鏈,這款全新的供能系統可以替代該專案之前使用的拖鏈。 e-skin flat扁平排管由一個個可打開的腔室組成,電纜和軟管填充在腔室中引導運行。這種緊湊的系統可以實現很小的彎曲半徑,並且運行過程中摩擦和磨損極小,原因之一是鏈節之間不會相互接觸。因此,它非常適用於無塵室,甚至可以堆疊多層使用,這一點已經過弗勞恩霍夫IPA研究所測試證實。這款新產品的出現正好恰逢其時:Heidelberg開發了一款演示器以對新供能系統進行長期測試,與此同時這款供能系統正好在igus測試實驗室的ISO 1條件下成功完成了1.2億次運動循環。最終,電纜成功通過了測試,客戶對其非常滿意。 igus對鎖緊件進行了最後的調整工作,用於小型VPG和ULTRA設備的新供能系統為完整套件。

該解決方案現在已經使用1年,效果很好,即使在循環時間約為1秒(相當於每年超過3100萬次運動循環)的高動態應用中也是如此。電纜使用的是帶耐磨TPE外護套的igus高品質chainflex耐彎曲電纜。

e-skin® flat 無塵室拖鏈
用於VPG系統的e-skin flat供能系統
用於VPG系統的e-skin flat供能系統
用於VPG系統的e-skin flat供能系統

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