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半導體產業的拖鏈、電線電纜和軸承技術

半導體製造商正努力達到高生產率。整體設備效率 (OEE) 可透過 igus 的解決方案來提高，我們的拖鏈系統及電線電纜適用於無塵室應用，支持高品質生產，因為它們是由高性能工程塑膠製成，耐磨損且低發塵。它們結構緊湊、維護成本低、易於組裝且經濟實惠。它們也有模組化設計，系統運營商可以隨時進行擴展。我們的產品能夠提升全球半導體產業的設備綜合效率 (OEE)，廣泛應用於雷射雕刻、EUV 光刻和自動光學檢測 (AOI) 等設備和系統中。

半導體產業

半導體產業的精選產品

e-skin soft 無塵室拖鏈

波紋浪管

  • 符合 IPA ISO 無塵室標準 Class 1
  • 兩個部分，由上層和下層外殼組成
  • 鍊式設計可快速組裝
  • 適用於快速、短行程的懸空應用
e-skin® 浪管
E6 拖鏈系統

高動態拖鏈

  • 符合 IPA ISO 1 級無塵室標準
  • 最佳化設計，無明顯磨損
  • 運作極為安靜
  • 側料號由 ESD 材料製成，可防止靜電
e-chain® C6 拖鏈系統
CFCLEAN

無塵室中的電線電纜

  • 採用高度耐磨的外護套材料
  • 保證使用壽命為 2,000 萬次，半徑為 70mm
  • CFCLEAN 和e-skin flat的的組合，

通過無塵室 Class 1 認證。

無塵室電線電纜
E6 拖鏈系統

乾式線性滑軌

  • 無需潤滑或維護
  • 通過 ISO 6 至 3 級無塵室使用認證
  • 運轉特別安靜
drylin® 線性滑軌
xiros 轉盤滾珠軸承

轉盤軸承可將微粒排放量降至最低

  • 即裝即用的軸承，適用於免潤滑乾式運行
  • 免保養滑動元件具有低發塵特性
  • 外環由輕量化陽極氧化鋁製成
PRT-04 轉盤軸承
xiros 滾珠軸承

免潤滑和免保養的滾珠軸承

  • 滾珠軸承採用高性能塑膠製成，適用於低摩擦乾式運行
  • 比傳統不銹鋼滾珠軸承更輕，約 50% 經濟實惠。
xiros 滾珠軸承

客戶應用範例

抗靜電拖鏈和免潤滑軸承在印刷電路板測試中的應用

飛針測試儀用於檢查印刷電路板的無故障功能。在加速度高達 15g 的情況下接觸並測量電路板等電子元件。drylin 線性軸承也允許完全免潤滑和免保養調整格式，無污染電子元件的風險。

更多關於此應用的資訊

線性滑軌與空氣軸承用於高精度調整

e-skin 扁平拖鏈 SKF12.4.03.01.1 為 4 層，與 igus® 的 PVC 和 TPE 電線電纜一起確保空氣軸承線性滑軌系統的可靠供電。

更多關於此應用的資訊
扁平式無塵室拖鏈 e-skin® flat 用於帶有空氣軸承的線性滑軌中

拖鏈中的圖型產生器每年超過 3,100 萬次循環

這些供能系統必須在無塵室持續運行的情況下順暢地運行，這裡使用的是 e-skin flat。

更多關於此應用的資訊
拖鏈系統用於圖型產生器

半導體自動化系統

E6 和 E14 系列拖鏈用於製造 Fixload 半導體自動化系統。300mm 晶圓加工裝置的裝載介面的敏感應用區域需要潔淨的空氣。e-chains 拖鏈滿足要求：耐磨且適用於 IPA ISO 2 級和 3 級無塵室。

Brooks 公司的半導體自動化系統

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無塵室手冊

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ESD 抗靜電產品

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BK Chen
陳柏凱 BK Chen

產業副理/電子及半導體 Deputy Product & Industry Manager – Microelectronics

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