半導體產業的拖鏈、電線電纜和軸承技術

波紋浪管

• 符合 IPA ISO 無塵室標準 Class 1
• 兩個部分，由上層和下層外殼組成
• 鍊式設計可快速組裝
• 適用於快速、短行程的懸空應用

高動態拖鏈

• 符合 IPA ISO 1 級無塵室標準
• 最佳化設計，無明顯磨損
• 運作極為安靜
• 側料號由 ESD 材料製成，可防止靜電

無塵室中的電線電纜

• 採用高度耐磨的外護套材料
• 保證使用壽命為 2,000 萬次，半徑為 70mm
• CFCLEAN 和e-skin flat的的組合，

通過無塵室 Class 1 認證。

乾式線性滑軌

• 無需潤滑或維護
• 通過 ISO 6 至 3 級無塵室使用認證
• 運轉特別安靜

轉盤軸承可將微粒排放量降至最低

• 即裝即用的軸承，適用於免潤滑乾式運行
• 免保養滑動元件具有低發塵特性
• 外環由輕量化陽極氧化鋁製成

免潤滑和免保養的滾珠軸承

• 滾珠軸承採用高性能塑膠製成，適用於低摩擦乾式運行
• 比傳統不銹鋼滾珠軸承更輕，約 50% 經濟實惠。

無塵室產品手冊

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