用於微電子、半導體產業的拖鏈、耐彎曲電線電纜和軸承技術

肉眼看不見的微粒會破壞微電子設備並降低整體設備效率 (OEE)。因此，製造商正在努力保持生產室內的空氣潔淨。 igus® 可以提供幫助 - 具有相容無塵室的供能系統和由耐磨高性能工程塑膠製成的電線電纜。我們的解決方案也相容於 ESD，經濟實惠，並且由於採用模組化設計，可以隨時擴展。它們用於執行揀選放置任務的機器和系統，以及相機和感測器支援的品質控制和包裝等。

使用範圍

半導體產業

面板產業

電池生產

微電子產業精選產品

扁平無塵室拖鏈

根據 IPA ISO Class 1，無塵室相容
模組化、緊湊型
可快速更換電線電纜
可選擇客製化的 CFCLEAN 絞合結構，實現高可靠性

e-skin-flat 扁平無塵室拖鏈

由兩部份組成的波紋浪管

相容於無塵室 IPA ISO Class 1
由上下層兩部分組成
採用拉鍊式設計，組裝快捷
適用於快速、短距離的懸空應用

e-skin® 浪管

適用於高動態的 e-chain 拖鏈系統

相容於無塵室 IPA ISO Class 1
優化設計，無可量測的發塵
特別安靜的運行
面部件採用 ESD 材料製成，可防止靜電放電

e-chain® C6 拖鏈系統

無塵室中的電線電纜

採用高耐磨外護套材質
保證使用壽命為 2,000 萬次往返次數，半徑為 70 毫米。
CFCLEAN 與e-skin flat的組合通過無塵室 Class 1 認證。

無塵室電線電纜

乾式運行線性滑軌

零潤滑、免維護
通過 ISO 6 至 3 級無塵室使用認證
運行特別安靜

drylin® 線性滑軌

轉盤軸承可將發塵量降至最低

即裝即用的軸承，適用於免潤滑乾式運行
免保養滑動元件具有低發塵特性
外環由輕量化陽極氧化鋁製成

PRT-04 轉盤軸承

免潤滑和免保養的滾珠軸承

滾珠軸承採用高性能塑膠製成，適用於低摩擦乾式運行
成本效益提高約 50%，比傳統不銹鋼滾珠軸承更輕。

xiros 滾珠軸承

圓棒/板材適用於客製化元件

由 iglidur 材料製成，專為動態移動而設計
自潤滑、非常低的摩擦係數和耐磨
，也可透過

3D 列印提供，無最小訂購量

原料棒

預裝配電纜

電纜已完全連接接頭
節省組裝時間和成本
經過廣泛的測試和品質檢查，可預測的長使用壽命

readycable® 預裝配電纜

成功使用

抗靜電拖鏈和免潤滑軸承在印刷電路板測試中的應用

飛針測試儀用於檢查印刷電路板的無故障功能。在加速度高達 15g 的情況下，針頭會接觸並測量電路板等電子元件。drylin 線性軸承也允許完全免潤滑和免保養調整格式，而無污染電子元件的風險。

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用於電子生產中定位系統的耐用拖鏈系統

Jenaer Antriebstechnik GmbH 的曝光和雷射劃片系統依賴我們的 readychain 全裝配拖鏈，無塵室相容的 E6 和 E3 系列產品中的拖鏈，包括去應力消除裝置、連接器、導槽和安裝板，用於安全地引導定位元件中的驅動裝置、測量系統和空壓管以及其他介質。

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用於相機模組的黏合劑分配器

Mingseal 的主要產品是攝影機模組用的膠水點膠機。由於對無塵運行的要求極高，最初採用的是焊接式電源，這不僅無法快速更換電纜，而且還會加劇電纜的磨損。如今，Mingseal 採用的是符合 ISO 1 級無塵室標準的 e-skin 無塵室拖鏈，這種無塵室專用波紋浪管由上下兩層外殼組成，易於快速開啟，結構緊湊，安裝便捷。

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適用於 SMD 貼片機的特殊電線電纜與拖鏈

Assembléon 的新系列自動取放裝置，一直在尋找能在多次極速升降過程中承受至少 4 億行程的電線電纜。由於我們的耐彎曲電纜結合了拖鏈，客戶現在可以從最小的磨損和最大的可靠性中獲益。

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使用耐彎曲電纜與拖鏈匙線持續可靠的 PCB 組裝

IPTE 的「Speedmounter」單塔式組裝機可同時擷取多達十二種不同的元件，並將其組裝到 PCB 板上。然而，過去由於佈線問題，該系統的可用性常常受到限制。我們高度靈活的 chainflex 控制和伺服電纜以及各種拖鏈解決了這個問題。

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感測器測試台的平穩運動

Hoffmann + Krippner 公司生產高度專業化的輸入系統、印刷電子元件和物聯網組件，所有產品均經過內部品質檢測，以確保各行各業的客戶始終獲得最佳品質。檢測在自動化測試單元中進行，我們自主研發的 drylin 線性滑台和拖鏈確保了可靠的運動性能。

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帶有空氣軸承的線性滑軌系統，用於高精度調整

採用四層結構的 e-skin flat SKF12.4.03.01.1 ，搭配 igus的 PVC 和 TPE 電纜，確保帶空氣軸承的線性系統可靠供電。

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半導體生產中的供能系統

Fixload 的生產過程中需要潔淨的空氣，這是由於在半導體製造中，300mm 晶圓加工裝置的負載介面的應用領域非常敏感。由於待處理的晶圓在裝載過程中沒有任何保護，並暴露在周圍環境中，因此技術設備不能產生任何微粒。
這就是為什麼這裡使用的是耐磨的供能系統，它可以用在 ISO Class 3 無塵室（符合 DIN EN ISO 146441-1）。